螺桿真空泵的發(fā)展
發(fā)表日期：2019-05-27 瀏覽次數(shù)：2148
20世紀(jì)90年代，隨著化工制藥行業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)和液晶顯示器制造工藝的不斷發(fā)展，對(duì)清潔真空環(huán)境的要求越來越高，傳統(tǒng)的油封式機(jī)械泵的返油問題日益尖銳 ，急需一種運(yùn)行穩(wěn)定可靠，且抽氣腔內(nèi)完全無油的新型真空泵，干式螺桿真空泵順應(yīng)而生。1890年，美國(guó)麻省的Warren公司發(fā)明了全球第一臺(tái)雙螺桿泵，荷蘭的Houttuin公司于1929年發(fā)明了歐洲第一臺(tái)雙螺桿泵。其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，可直排大氣，抽氣腔內(nèi)完全無油等特點(diǎn)。
源于螺桿壓縮機(jī)的多頭轉(zhuǎn)子型線起步較早，有的廠家直接用螺桿壓縮機(jī)的轉(zhuǎn)子型線用在真空泵上使用。日立公司很早就把4－6頭螺桿轉(zhuǎn)子型線用在真空泵上，韓國(guó)LG公司的真空泵目前也使用多頭轉(zhuǎn)子型線，由于兩嚙合轉(zhuǎn)子接觸線的頂點(diǎn)不能達(dá)到陰、陽轉(zhuǎn)子氣缸孔的交線，在接觸線頂點(diǎn)和機(jī)殼的轉(zhuǎn)子氣缸孔之間，會(huì)形成一個(gè)空間曲邊三角形，也就是泄漏三角形，氣體將從壓力較高的齒間容積，泄漏至壓力較低的鄰近齒間容積，由于這個(gè)泄漏三角形的存在，導(dǎo)致多頭螺桿真空泵的極限真空度較低，加上這類轉(zhuǎn)子加工難度大，需要專用機(jī)床，造價(jià)昂貴，因而逐步退出螺桿真空泵市場(chǎng)。
為適應(yīng)市場(chǎng)需求，各公司開始開發(fā)單頭等螺距轉(zhuǎn)子型線。目前，單頭等螺距轉(zhuǎn)真空泵仍占有很大市場(chǎng)。
變螺距螺桿泵是等螺距螺桿泵的升級(jí)產(chǎn)品。等螺距螺桿泵由于無內(nèi)壓縮過程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會(huì)造成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形，影響抽氣效果。里奇樂、凱尼和萊寶公司在單頭等螺距轉(zhuǎn)子型線基礎(chǔ)上均研發(fā)出單頭變螺距轉(zhuǎn)子型線，并將產(chǎn)品投放市場(chǎng)。最早螺桿真空泵的引導(dǎo)線（螺旋線）為常數(shù)，也就是等螺距螺桿，介質(zhì)(主要是氣體) 在泵體內(nèi)部等體積傳輸，在排氣口壓縮，屬于外部壓縮，能耗和噪聲都較高。從能效觀點(diǎn)出發(fā)，工作氣體是可以內(nèi)部壓縮的，在端面型線不變的情況下，通過改變螺旋線的導(dǎo)程實(shí)現(xiàn)內(nèi)部壓縮，增大吸氣端導(dǎo)程擴(kuò)大吸氣容積，縮小排氣端的導(dǎo)程降低氣體返流泄漏，提升了排氣能力，降低了能耗。
螺桿轉(zhuǎn)子的設(shè)計(jì)中，最重要的是設(shè)計(jì)型線，因?yàn)檗D(zhuǎn)子型線基本決定了螺桿機(jī)械的性能好壞。螺桿機(jī)械性能的不斷提高及其市場(chǎng)份額的不斷擴(kuò)大，是與轉(zhuǎn)子型線的發(fā)展密不可分的。
進(jìn)入二十一世紀(jì)一零年代，河北維普真空在具有二十多年醫(yī)藥化工生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)的總經(jīng)理劉學(xué)軍帶領(lǐng)下，吸收國(guó)外先進(jìn)技術(shù)和設(shè)計(jì)理念結(jié)合國(guó)內(nèi)實(shí)際情況進(jìn)行創(chuàng)新，研發(fā)生產(chǎn)了VP系列立式變螺距螺桿真空泵，推向市場(chǎng)后客戶普遍反響較好。維普真空將秉承精益求精、一絲不茍的工作作風(fēng)，為用戶提供最優(yōu)化的真空系統(tǒng)解決方案，實(shí)現(xiàn)節(jié)能、減排、環(huán)保、增效的目標(biāo)。
